ICP-AES法是20世纪60年代提出、70年代迅速发展起来的一种新型分析技术。在分析上的应用领域虽然十分广泛，但是还存在着以下缺点，ICP光谱仪小编为您介绍：

　　(1)对于固体样品一般需预先转化为溶液，而这二过程往往使检出限变高。

　　(2)作气体氩气消耗量大导致仪器运行成本增加。

　　(3)进样系统雾化效率不高导致部分元素在痕量时无法检出。

　　(4)ICP光谱仪发射光谱法只能测定样品中元素的总量，不能对元素进行价态分析，除非和其他分析仪器联用。

　　(5)RF发生器电路较复杂，容易产生故障导致仪器停机，并且仪器价格比较高、对实验室要求也高、需要单独的电源和接地以及排风系统，所以前期投入比较大。