ICP光谱仪低温干灰化法又称氧等离子灰化法或低温干灰化，是用电激发的氧分解生物试料的专用低温灰化器，在相对温度比较低的情况下灰化，其挥发速度和等离子的流速、时间、功率和试的体积有关，其装置由消化室、供应系统、真空系统和高频电源组成。

　　其原理是：氧受高频出频电场激发产生的氧等离子体具有很强的氧化能力，使试料在(100~150)℃，有时市也在（60~70)℃下缓慢氧化，除去有机物，金属元素留在灰分中。该方法解决了高温干灰化头公期说发、滞留和吸附而损失痕量元素等问题，但是用该法灰化银、金、汞、卤素等元素损失依然严重，消化时间因试料而定，一般需要(4~8)h。

　　该技术主要优点是：有些元素Se As sb,pb、cd等较易挥发元素在低温灰化期间依然留在残渣里，解决了因污染和挥发损失以及湿法灰化中的某些不安全性；试料被金属污染的概率很小，回收率高。比如测定动物组织中的铍、镉和碲等易挥发元素及糖和面粉等试料的前处理就是采用这种低温干灰化法。