ICP光谱仪又称分析仪，广泛为认知的为直读ICP光谱仪。以光电倍增管等光探测器测量谱线不同波长位置强度的装置。它由一个入射狭缝，一个色散系统，一个成像系统和一个或多个出射狭缝组成。以色散元件将辐射源的电磁辐射分离出所需要的波长或波长区域，并在选定的波长上(或扫描某一波段)进行强度测定。分为单色仪和多色仪两种。

　　ICP光谱仪的工作原理：

　　根据现代ICP光谱仪器的工作原理，ICP光谱仪可以分为两大类：经典ICP光谱仪和新型ICP光谱仪。经典ICP光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器;新型ICP光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典ICP光谱仪器都是狭缝ICP光谱仪器。调制ICP光谱仪是非空间分析的，它采用圆孔进光。根据色散组件的分析原理，ICP光谱仪器可分为：棱镜ICP光谱仪，衍射光栅ICP光谱仪和干涉ICP光谱仪。

　　光学多道分析仪OMA是近十几年出现的采用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器，它集信息采集，处理，存储诸功能于一体。

　　由于OMA不再使用感光乳胶，避免和省去了暗室处理以及之后的一系列繁琐处理，测量工作，使传统的光谱技术发生了根本的改变，大大改善了工作条件，提高了工作效率;使用OMA分析光谱，测量准确迅速，方便，且灵敏度高，响应时间快，光谱分辨率高，测量结果可立即从显示屏上读出或由打印机，绘图仪输出。它己被广泛使用于几乎所有的光谱测量，分析及研究工作中，特别适应于对微弱信号，瞬变信号的检测。