ICP光谱仪和火焰原子吸收光谱仪是有很大区别的，通常意义上来说，它具有仪器简单、抗干扰能力强、灵敏度高、选择性好、精密度高、操作方便等等特点。下面是对其进行具体的分析。

1）抗干扰能力强。一般不存在共存元素的光谱重叠干扰，主要是化学干扰。

2）选择性好。原子吸收光谱是元素的固有特征，这是其选择性好的根本原因。

3）检出限低。火焰原子吸收光谱分析法的检出限约为ng/mL级。

4）用样量少。火焰原子吸收光谱分析法的进样量为3--6mL/min。

5）精密度高。原子吸收光谱的强度取决于自由基态原子的个数，受温度变化的影响很小，这是原子吸收光谱分析法的精密度比原子发射光谱分析法的精密度好的原因。

6）单元素的定量分析。每次进样只能测量一个元素，这是其缺陷之一

7）应用范围广。可以测绝大多数金属与准金属元素，还可以间接测量非金属元素。