ICP光谱仪是上世纪60年代提出、70年代迅速发展起来的，它的迅速发展和广泛应用是与其克服了经典光源和原子化器的局限性分不开的，那么ICP光谱仪的目标元素都有哪些呢？下面小编就来介绍一下：

ICP光谱仪软质样品（例如：铜、铝、锌、铅）必须车削表面或用酒精湿磨.磨好的表面一定不要玷污（例如用手触摸）.考虑到金属热涨冷缩效应,会影响光线稳定性.温度变化会影响仪器的热平衡,对接收器和一些电器件会造成不稳定,若温差较大对光路也会有影响.

ICP光谱仪对于钢和铸铁（颗粒大小,对钢是60到80之间,对铸铁是40到60之间）,建议用适合于本仪器样品的砂纸干磨.砂纸一定不要被高合金含量的样品污染（例如：应该先用于低合金样品，再用于高合金样品）.样品必须在清洁的、规范的砂纸上磨（没有先前激发处理留下的激发的痕迹）.样品表面不能被抛光（适时更新用过的砂纸）.必须确保样品在磨的过程中没有过热（样品应该与砂纸只有短暂的接触）。如果需要，样品应该用水冷却，再干燥，再尽可能短的时间干磨.

ICP光谱仪可用标样中目标元素的“真实浓度”与分析线对和强度比（R）拟合工作曲线（校准曲线）。如果铁含量变化过大，如高、中合金钢，其影响不可忽略，需要用标样中目标元素的“相对浓度”（或“浓度比”）与分析线对和强度比（R）拟合工作曲线，这就是我国光谱分析的前辈讲的“诱导含量法”。如果希望用同一工作曲线同时分析高、中、低合金钢，那就都要用“相对浓度”来校正基体含量的影响。更进一步，如果既要校正基体含量的影响，又要校正共存元素的干扰，就应该用“表观浓度”来拟合工作曲线。

ICP光谱仪虽然本身测量准确度很高，但测定试样中元素含量时， 所得结果与真实含量通常不一致，存在一定误差，并且受诸多因素的影响，有的材料本身含量就很低。