ICP光谱仪在使用之后要不断进行保养维护，下面是一些保养的技巧：

(1)ICP光谱仪使用环境，与其它大型精密仪器—样，ICP光谱仪的运行也需要在一定的环境下进行，达不到这些条件，不仅是仪器的使用效果不好，而且还会改变仪器的检测性能，甚至造成仪器损坏，影响使用的寿命。

(2)ICP光谱仪的供电，保证仪器运行时，不会因为线路的电压降过大，造成仪器损坏，影响仪器寿命。

(3) ICP光谱仪的气体控制系统的维护，首先要做气体试验，打开气体控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表 指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象，需要检查和排除。 

(4)ICP光谱仪雾化器及光学系统维护，雾化器是进样系统中最精密，最关键的部份，需要很好的维护和使用。在测定完样品后，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的顶部以及炬管喷嘴都会有积盐份，会造成气溶胶的通道不畅，—般是出现检测出来的元素强度下降，仪器反射功率升高等，当仪器提示运行光学初始化时，须先做光学初始化。 

(5)其他。每次开机前，应事先计划好实验方案，做好准备工作，避免在一段时间内反复开机，因为每次开机时，其瞬间通过的电流要远远大于正常工作时的电流，可能造成某些元件的过早老化。icp光谱仪是需要定期维护地设备,这样才能保证设备地正常运行和经久耐用。