电感耦合等离子体光谱仪是高频振荡器发生的高频电流，经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端，铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氢气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道，环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁，防止管壁受热熔化的作用。

    电感耦合等离子体光谱仪工作的基本条件：

①rf系统能够输出持续、稳定、合适的能量到工作线圈。

②炬管安装良好且通有纯净、流量适宜的氩气。

③点火装置向气体中释放适当的电荷。

④如果其中某个条件没有满足则仪器不能正常点火。

另外，电感耦合等离子体光谱仪的功率放大部分的核心部件为功率它是一个大功率的真空电子管，内部有一细长的灯丝，当灯丝通电而RF系统未工作时，电流就会让灯丝发热并发射热电子。