电感耦合等离子体光谱仪的气路系统及其附属设施主要由氩气气源，氩气包装物、氩气净化机、气路管道、干燥管、气压表和流量计组成。

　　氩气是一种无色、无味的惰性气体、相对分子质量39.938分子式为Ar。在标准下密度为1.784kg/m³。其沸点-185.7°C。在科研和工业生产中，通常用灰色钢瓶盛装氩气，液氩通常常用杜瓦罐盛装。

　　电感耦合等离子体光谱仪所用工作气，在分析测试中的作用是：可与样品溶液形成气溶胶，可将形成样品气溶胶引入等离子炬，可对雾化器、雾化室、中心管起到清洁作用，可点燃等离子体和做等离子冷却气保护石英炬管不被高温融化。因为氩气是无色、无味、不易燃不易爆的氮原子惰性气体，它不与试样组份形成难离解的稳定化合物，也不像分子那样因离解而消耗能量，有良好的激发性能，本身光谱简单。具有分析灵敏度高。使用安全、光谱背景较低，电阻率、热容和热导率最低等特点，因而造成作为工作气，而且用氩气做等离子气可降低由于热导散热而造成的能量损失，提高等离子体的热效应;还有一点就是用氩气做等离子体易于形成稳定的高频耦合等离子体光源，所以需要的高频功率较低。如果使用氧气或者氮气为工作气，他们会吸收大部分的元素谱线，导致分析过程中的不稳定和整体偏低。