根据现代ICP光谱仪器的工作原理,ICP光谱仪可以分为两大类:经典ICP光谱仪和新型ICP光谱仪.经典ICP光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器;新型ICP光谱仪器是建立在调制原理上的仪器.经典ICP光谱仪器都是狭缝ICP光谱仪器.调制ICP光谱仪是非空间分光的,它采用圆孔进光.
根据色散组件的分光原理,ICP光谱仪器可分为:棱镜ICP光谱仪,衍射光栅ICP光谱仪和干涉ICP光谱仪.光学多道分析仪OMA (Optical Multi-channel Analyzer)是近十几年出现的采用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器,它集信息采集,处理, 存储诸功能于一体.由于OMA不再使用感光乳胶,避免和省去了暗室处理以及之后的一系列繁琐处理,测量工作,使传统的光谱技术发生了根本的改变,大大改善了工作条件,提高了工作效率;使用OMA分析光谱,测量准确迅速,方便,且灵敏度高,响应时间快,光谱分辨率高,测量结果可立即从显示屏上读出或由打印机,绘图仪输出。它己被广泛使用于几乎所有的光谱测量,分析及研究工作中,特别适应于对微弱信号,瞬变信号的检测.