ICP光谱仪又叫电感耦合等离子体发射光谱仪，由于具有高灵敏度，高精密度，低基体效应和具有同时多元素分析能力等一系列特点，自1975年出现商品仪器以来，很快在各分析领域得到广泛应用，成为材料、环境、地矿、冶金、食品、化工、生化、商品检验及科研领域最通用的无机元素分析工具。ICP光谱仪的结构和技术也在不断的改进和发展。1991年新的中阶梯光栅固态检测器ICP-OES仪器问世，即国内所说的全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪。1993年国外生产的该类仪器进入中国市场，目前国内还没有制造商将全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪产业化。

ICP光谱仪是根据试样中被测元素的原子或离子，在光源中被激发而产生特征辐射，通过判断这种特征辐射波长及其强度的大小，对各元素进行定性分析和定量分析的仪器。